전자현미경
[Electron microscope]물체를 비툴 때 빛 대신 진공상태에서 전자의 움직임을 파악해 시료를 관찰하는 현미경이다. 전자에 고전압을 걸어 총처럼 발사해 전자의 움직임을 분석한다.
전자가 가는 길을 방해하는 요소가 없는 고도의 진공 상태에서 작동한다. 크게 투과전자현미경(TEM;Transmission electron microscope )과 주사전자현미경(SEM;Scanning electron microscope )으로 나뉜다. TEM은 시료에 전자를 투과시킬 때 시료 상태에 따른 전자 투과 속도의 미세한 변화를 포착해 이 데이터를 토대로 2차원 이미지를 찍는다.
SEM은 시료에 (1차)전자를 쏠 때 시료 표면에서 튕겨 나오는 ‘2차 전자’ 신호를 갖고 이미지를 그린다. 시료의 강약, 굴곡 등 물리적 특성에 따라 튕겨 나오는 속도와 양상 등이 달라지는데, 이 정보를 토대로 이미지를 출력한다. TEM은 시료 안쪽, SEM은 표면을 보는 데 특화돼 있다. TEM은 SEM보다 해상도가 높고, SEM은 TEM과 달리 3차원 이미지 생성이 가능하다.
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