주사 탐침 현미경
[scanning probe microscopy, atomic force microscopy, SPM]뾰족한 탐침을 이용해 시료의 3차원 이미지를 얻을 수 있는 현미경. 시료에 탐침을 접근시킬 때 나타나는 미세한 힘(반데르발스 힘 등)을 측정해 ㎚ 단위에서 3차원 형상을 보여준다. 특이한 것은 탐침과 시료가 닿지 않는다는 점이다. 탐침과 시료 둘 다 손상되지 않아 비파괴검사를 할 때 유리하다. 시료의 물리적, 전·자기적, 광학적 성질도 파악할 수 있다. 원자현미경의 가장 큰 장점은 세포 등 살아있는 시료까지 볼 수 있다는 것이다. 진공, 고전압이 필요한 전자현미경에선 불가능한 생체 시료를 볼 수 있어 바이오·의료, 제약산업에서 활용이 가능하다.
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