경제용어사전

극자외선 노광장비

 

극자외선을 이용하여 반도체를 생산하는 장비. 이 장비는 빛 파장이 13.5나노미터인현재 반도체 양산 라인에 주로 쓰이는 불화아르곤(ArF) 액침 장비(193나노미터)보다 짧다. 웨이퍼에 더 미세하게 패턴을 새길 수 있다.

삼성전자는 전세계 반도체 업체 중 최초로 EUV를 적용해 7나노미터 제품을 양산하고 있다. 또한 EUV를 활용해 파운드리(위탁생산) 분야에서 대만 TSMC를 따라잡는다는 계획을 세워놓은 상태다.

하지만 2019년 7월 4일부터 일본정부가 포토레지스트(감광액) 중 EUV용 제품에 대해 한국에 대한 수출규제 조치를 발동함으로써 삼성전자의 계획에 차질이 생길것으로 보인다.

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