초소형 미세공정 시스템

[micro electro mechanical systems, MEMS]

반도체 공정기술과 미세가공기술을 조합해 마이크론미터(100만분의 1) 이하 초미세 구조물이나 기계 등을 제작하고 시스템화하는 기술. 반도체는 이러한 기술을 이용하여 전류나 혹은 전압을 제어하는 소자를 만드는 게 주된 반면, 멤스는 기본적으로 움직이는 구조물을 만드는 게 주요 목적이다. 잉크젯프린터의 헤드ㆍ압력센서ㆍ가속도 센서ㆍ자이로스코프ㆍ프로젝터 등에 사용되며 다방면으로 응용이 가능하다. 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등으로도 불린다.