불화수소
[Hydrogen fluoride, HF]불산플루오르화수소. 독성이 강한 부식성 기체로서 반도체 제조 공정 중 회로의 패턴을 형성하는 웨이퍼의 식각(etching)과 세정(cleaning)공정에 사용되는 소재다.
일명 "에칭가스"로도 불리는 고순도 불화수소는 스텔라 모리타 등 일본 업체가 세계 수요의 90% 이상을 생산하고 있다. 불화수소를 생산하고 관리한 역사가 100년 이상이다.
삼성전자와 SK하이닉스도 필요량의 대부분을 일본에서 수입하고 있다. 솔브레인 홀딩스 등 국내 업체도 불화수소를 생산하고 있지만 저순도 불화수소만 만들거나 일본산 저순도 불화수소를 수입해 순도를 높여 판매하는 2차 공정을 맡고 있다.