용어사전

클린룸

[Clean Room]

반도체 소자나 LCD 등 정밀 전자 제품은 물론 유전자조작과 같은 극미산업(極微産業)에서 미세먼지와 세균을 제거한 작업실을 말한다. 청정실 또는 무균실이라고도한다. 극미산업에서는 미세한 먼지나 세균도 커다란 영향을 미치기 때문에 제품의 질이나 수율을 높이기 위해서는 공기 중의 미세먼지를 제거하고 청정상태를 유지해야 한다.

미국은 산업용 클린룸의 기준을 10, 100, 1000 클래스(Class) 등으로 규정하고 있다. 1000클래스는 PDP 제조용(1입방피트 당 0.5μm의 먼지 1000개 미만 및 5μm의 먼지가 없어야 함), 100클래스는 LCD 제조용(1입방피트 당 0.5μm의 먼지 100개 미만 및 5μm의 먼지가 없어야 함), 10클래스는 반도체 제조용(1입방피트 당 0.5μm의 먼지 10개 미만 및 5μm의 먼지 입자가 없어야 함) 등으로 이용된다.