경제용어사전

화학기상증착법

[chemical vapor deposition, CVD]

반도체 등의 집적회로(IC) 제조공정에서 열ㆍ전기로 원료 가스의 화학작용을 일으켜 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 기술이다. 실리콘 산화막, 실리콘 질소막, 아모르퍼스 실리콘(Amorphous Silicon) 박막 등을 만드는데 이용된다. 화학물질을 포함하는 가스에 열이나 빛으로 에너지를 가하거나 고주파로 플라스마화해 원료물질의 반응성을 높이면 기판 위에 흡착된다.

  • 한국노동조합총연맹

    우리나라의 각 기관과 산업체에 조직돼 있는 노동조합의 연합단체.1946년 3월 설립됐으며 ...

  • 휴리스틱[heuristic]

    주먹구구식 직감을 말한다.

  • [exchange]

    멀리 떨어진 곳에 있는 사람들 간의 채권(채무)관계를 현금을 송치하지 않고 결제하는 제도....

  • 협의과세제

    세금을 매길 때 기준이 되는 과세표준을 신고 전에 납세자가 세무당국과 협의해 결정하도록 하...