경제용어사전

화학기상증착법

[chemical vapor deposition, CVD]

반도체 등의 집적회로(IC) 제조공정에서 열ㆍ전기로 원료 가스의 화학작용을 일으켜 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 기술이다. 실리콘 산화막, 실리콘 질소막, 아모르퍼스 실리콘(Amorphous Silicon) 박막 등을 만드는데 이용된다. 화학물질을 포함하는 가스에 열이나 빛으로 에너지를 가하거나 고주파로 플라스마화해 원료물질의 반응성을 높이면 기판 위에 흡착된다.

  • 흘수선[吃水線, water line]

    선체가 물에 잠기는 한계선을 말한다. 항행 안전상 허용된 최대의 흘수선을 만재(滿載)흘수선...

  • 하락장악형[bearish engulfing]

    주가의 상승추세에서 형성되는 패턴으로 전일 양의 몸통을 다음날의 긴 음의 몸통이 감싸 안는...

  • 해외부문통화공급

    해외 부문을 통한 통화공급은 대외거래의 결과인 국제수지 상태와 밀접한 관련을 맺고 있다. ...

  • 해양생명자원[marine bio-resourses]

    해양환경에서 유래한 해양생물자원(Marine Biological Resourses), 해양...