경제용어사전

화학기상증착법

[chemical vapor deposition, CVD]

반도체 등의 집적회로(IC) 제조공정에서 열ㆍ전기로 원료 가스의 화학작용을 일으켜 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 기술이다. 실리콘 산화막, 실리콘 질소막, 아모르퍼스 실리콘(Amorphous Silicon) 박막 등을 만드는데 이용된다. 화학물질을 포함하는 가스에 열이나 빛으로 에너지를 가하거나 고주파로 플라스마화해 원료물질의 반응성을 높이면 기판 위에 흡착된다.

  • 호모나랜스[homo-narrans]

    호모나랜스는 ''생각하는 사람''인 ''호모사피엔스(homo-sapiens)''의 반대 개...

  • 휴먼FTA

    2015년 경제정책 방향 중 노동 분야에서 가장 눈길을 끄는 정책으로 외국 인력에 대한 문...

  • 한국투자공사[Korea Investment Corporation, KIC]

    정부가 국가재정의 안정성과 투자수익의 극대화를 위해 2005년 설립한 우리나라의 국부펀드....

  • 합성천연가스[synthetic natural gas, SNG]

    석탄을 고온, 고압에서 가스화한 후 정제 및 메탄합성공정을 거치면, 천연가스(주성분 메탄)...