반도체 자동이송시스템
[automated material handling system, AMHS]반도체 제조라인에서 회로판을 적재한 회로판 저장용기(FOUP, Front Opening Unified Pod)를 자동 이송하기 위한 체계 전체를 의미하는데, 먼지와 진동을 최소한으로 줄이면서 최대한 빠른 속도로 회로판 저장용기를 이송하고 병목현상 없이 적시에 회로판이 공정장치에 이송되도록 제어하는 것이 그 핵심기술이다.
반도체 자동이송체계의 장비로는 반도체 공장의 천장에 부착된 레일을 따라 주행하는 대차(vehicle)가 자동으로 회로판 저장용기를 들어 올려 목적지로 운반하게 하는 천장이송장치(OHT, Overhead Hoist Transport)와 회로판 저장용기가 공정장치에 들어가기 전과 후에 일시적으로 보관되는 저장소인 스토커(stocker)가 대표적이고, 그 외 층간이송장치(lifter), 무인이송차량(AGV, Automated Guided Vehicle) 등도 있다.