경제용어사전

수율관리시스템

[Yield Management System, YMS]

반도체 생산시 수율의 극대화를 위해 생산 공정 중 발생하는 각종 웨이퍼 데이터(회로 선폭, 박막 두께 등)를 분석, 관리하는 시스템.

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