경제용어사전

네이처

[Nature]

1896년 영국 천문학자 로키어(Joseph Norman Lockyer)가 창간한 주간 기초과학종합 학술지. 1957년 이후에는 영국 총리 관할 아래 네이처 출판 그룹(Nature Publication Group)에서 발간하고 있다.

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    전공정에 해당. 마스크에 빛을 통과시켜 웨이퍼에 회로를 인쇄하는 공정.

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