용어사전

불화수소

[Hydrogen fluoride, HF]

불산플루오르화수소. 독성이 강한 부식성 기체로서 반도체 제조 공정 중 회로의 패턴을 형성하는 웨이퍼의 식각(etching)과 세정(cleaning)공정에 사용되는 소재다.

일명 "에칭가스"로도 불리는 고순도 불화수소는 스텔라 모리타 등 일본 업체가 세계 수요의 70% 이상을 생산하고 있다. 불화수소를 생산하고 관리한 역사가 100년 이상이다.

삼성전자와 SK하이닉스도 필요량의 대부분을 일본에서 수입해왔다. 솔브레인 홀딩스 등 국내 업체도 불화수소를 생산하고 있지만 저순도 불화수소만 만들거나 일본산 저순도 불화수소를 수입해 순도를 높여 판매하는 2차 공정을 맡아왔다.

일본 정부가 2019년 7월4일부터 반도체와 유기발광다이오드(OLED) 패널 제조 과정에 필요한 포토레지스트(PR)와 플루오린 폴리이미드(FPI) 등과 함께 고순도 불화수소(에칭가스)를 수출규제하면서 한국 기업들이 국산화를 서두르면서 국내 업체 솔브레인이 2019년 9월 국산화에 성공했다.
램테크놀러지도 국산화에 성공해 2019년 10월 1일부터 SK하이닉스의 일부 반도체 생산라인에 투입하고 있다.