경제용어사전

극자외선 (EUV) 공정

[extreme ultraviolet photolithography technology]

반도체를 만드는 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정을 말한다.

극자외선 파장은 기존 공정기술인 불화아르곤(ArF) 광원보다 파장의 길이가 10분의 1 미만이어서, 극자외선 파장을 가진 광원으로 노광작업(레이저 광원으로 웨이퍼에 패턴을 새기는 작업)을 하면 반도체 회로 패턴을 더욱 세밀하게 제작할 수 있을 뿐더러 공정 수를 줄여 생산성을 높이고 고성능을 확보할 수 있도록 한다.

2018년말 현재 EUV 장비는 네덜란드 반도체 장비 기업인 ASML이 독점생산하고 있다. 가격은 모델에 따라 다르지만 대당 1500억-2000억원 수준이다.

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