경제용어사전

SOI

[Silicon on Insulator]

실리콘 단결정으로만 이루어진 일반적인 실리콘 웨이퍼와 달리 실리콘 단결정층(單結晸層) 사이에 절연층(絶緣層)이 형성되어 있는 구조의 웨이퍼.

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